而许瑞宜团队已经就接触性光刻机做了论证和设计,现在就差后续的资金跟上。
许瑞宜很聪明,一开始申请的不过是十万块。
但各处批复的部门大佬也不是傻的,怎么会不知道升级一代光刻机需要的是整个行业的升级!
那起码是几千万美刀的投入。
做理论研究,他们可以支持,千二八百的工资待遇可以提升。
但做实物生产实验,只要一开始就是个无底洞。
尤其是几处批复说的相当明白。
国内精密加工行业提升不起来,接近式光刻机就只能是个设想。
国内的光学单位根本没有能力生产出接近式光刻机需要的实验材质和精度的镜片!
还有光刻胶……。
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