因此,蔡司也是阿斯麦公司最重要、最无可替代的合作伙伴。
王坚利用自己曾在IBM工作二十二年的资历,以及在微影技术领域积攒下的声望和人脉,终于说动了一批志同道合的合作者。
为了表示诚意,也为了坚定彼此的信心,阿斯麦公司的总裁布林克先生,亲自从荷兰赶到了奥伯科亨。
同行的,还有蔡司半导体部门的技术总监,卡尔.林顿。
三个人,在这座小城郊外的一栋乡间别墅里,闭门谈了两天。
“先生们,请看这里。”
王坚站在一块巨大的白板前,用马克笔画出一个复杂的结构图。
“与目前主流的干式法相比,浸没式技术的核心,就是用液体取代空气作为镜头和晶圆之间的介质。”
他指着图上的一点。
“仅仅是这一个改变,就可以轻易突破157纳米的物理极限,从而推动摩尔定律,继续向前迈进。”
他的话语里充满了激情和自信,那是一个技术人员对自己毕生心血最纯粹的热爱。
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