一看到说明书上的基本参数,老何就乐了,虽然还没有具体算,可是根据说明书上的发射功率,光电接收器上的接收功率的数量级和大致数字范围他是能估算得到的。
三台激光器都一样,说明书里并没有说这是什么激光器,这个信息,是不会放在基本上任何人都能接触得到的说明书里的。
激光波长1064nm,这个对于老何他们来说,并不重要,他们要的是功率。
这也是虽然同样都是YAG激光器,这个却没有像光刻机配套单位一样,收到的是355nm波长激光器的原因,1064nm的简单,对于老何他们来说正好。
光刻用355nm,主要是考虑到制程升级的余量,所以麻烦一点也要用。
对于老何来说,高副总敞亮啊,一给就是三台!这也算是打富裕仗了。
他连忙招呼研究人员,准备换激光器。
换激光器的工作,不止是把激光器换上去,接上线就完事儿的,还涉及到控制、电源等一系列电路的修改,特别是接收电路。
大家都很忙,不过对于高振东来说,反而是有了一些难得的空闲,或者说不叫空闲,是手上急事不多。
光刻机的工作已经分散安排了,集成电路的其他工艺也把原理和具体工作交给了1274厂。
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