“对对对,高总工,我记得你老早就提过这个事情,是用什么沉积法做是吧?”
老段记性不错,高振东当时随口一提的事情,他现在还能记得个七七八八。
“对,化学气相沉积法。”
化学气相沉积法(CVD),和物理气相沉积法对应的一种方法,把基底暴露在前驱体里面,在一定条件下,前驱体在基底表面发生化学反应或者化学分解之后,获得沉积薄膜的一种技术。
嗯,原理很简单。
而CVD法,就是制备热解石墨的方法了。
热解石墨是结晶的多晶碳,其晶格形状与石墨一致。也不要想象成是一颗一颗的碳颗粒通过某种方式粘接在一起,然后比较容易被搓散的样子,并不是那么回事,多晶碳就是多晶碳。
举个大家都懂的例子就是,钢铁也是多晶,谁见钢铁容易被搓散来着?
而热解石墨最有意思的地方就是,由于沉积是以原子方式沉积的,而且石墨晶格是一个个的平面的多边形而不是立体结构,因而热解石墨沉积之后,从晶体结构上来说是一层一层的,平行于衬底的表面。
这就导致这东西吧,呈现出高度择优取向和各向异性,说人话就是各走各的。
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