如果不制裁的话,那就继续放着,然后慢慢琢磨着改进绕开专利。
DUV浸润式光刻机也一样的,专利太多了,作为后来者做这东西,侵犯其他厂商的专利是不可避免的。
但是不能因为侵犯专利就不做了。
把这东西做出来,真到了制裁的时候就能直接顶上去使用。
王道林道:“光源系统方面,我们已经算是整合的差不多了,基本达到了技术要求,剩下的还要对其他方面的系统进行整合,核心技术都没什么问题了,很多都是从DUV干式光刻机里转化而来的,主要是一些系统整合上的细节问题,这需要一定的时间来打磨!”
“我们估计着,大概明年上半年,我们就能够拿出来第一台真正的样机进行各种测试。”
徐申学道:“明年的话,也差不多了,现在我们的DUV浸润式光刻机进口还没有受到限制,你这边还有一些时间,继续好好打磨,争取明年弄一台堪用的样机出来!”
“至于大规模商用,因为这个专利问题还需要看整体的环境变化,如果没有太大环境上的变化,可能你们这边就要继续努力解决一些专利问题了!”
“最后,EUV光刻机那边也不能放松了,现在DUV浸润式光刻机都还好,而EUV光刻机的话,按照我的预计是不太可能从外头获得了!”
“这未来我们集团能不能用上EUV光刻机,能不能进军未来的先进制程领域,就要靠你们了!”
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