”我们的目标，是争取在后年，把这十多种核心设备的技术指标，全部提升到满足等效10纳米工艺的程度。”
”然后在这个基础上，继续向7纳米工艺乃至未来的5纳米工艺所需要的技术指标推进！”
“对此，我们的信心还是很大的！”
徐申学心中则是暗道：“二十个S级科研名额，百十多个A级科研名额都投在了仙女山控股体系下，如果你们还没信心，我就要怀疑你们是不是有真材实料了。”
仙女山控股体系下的各企业，一向来是徐申学的科研名额的投入大户，每个月新增加的成就点所购买的S级以及A级别的科研名额，基本都是给仙女山控股体系这边用了。
智云集团那边除了智云微电子外，其他项目组，子公司都已经好久没有得到过A级以上的科研名额新增了，都是用原来的一些科研名额顶着，不过原来分配过去的高级别科研名额也不少，所以也够用了。
看完了诸多这些现成的核心设备，徐申学又了解了一番EUV光刻机的研发进度。
王道林介绍道：“目前我们正在汇同各大子系统供应链企业，对EUV的多种关键技术进行集中攻关！”
“主要是EUV光源系统，高精度的弧形离轴反射镜构成的光学系统，还有超高精度的真空双工件台。”
“除了光刻机本身的技术外，我们也在配合仙女山控股体系下的其他兄弟公司，研发EUV掩膜版，沉积工艺等等。”
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