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第三百七十九章 火种计划以及希罗克达上市 (11 / 18)

作者:雨天下雨 最后更新:2025/9/11 5:00:58
        结果这一次运气爆棚,王斌耀搞出来的多种潜在的光敏聚合材料里,其中有一种性能还不错,达到了满足EUV光刻机对光刻胶的苛刻需求。

        当然,仅仅是这样还不够,实际上他们之前也做出来了一种光敏聚合物材料,适合EUV光刻机使用,但问题是那种材料是一种低温材料,对使用环境要求非常苛刻,得零下好几十度才能用,而且制备成本也高,不具备实际使用价值。

        而这一次搞出来的新型光敏聚合物材料,却是在常温常压情况下就能够使用,并且按照理论上来说,制备难度也不大……成本虽然高一些,但是后续通过工艺改良,大规模量产是能够把成本给降低下去的。

        这种新型光敏聚合物材料的研发成功,让王斌耀兴奋的很……他感觉自己最近的研发状态好的很。

        而且这不是自己的感觉,而是得到了研发成果证明的事实。

        既然如此,那么还等什么,各种材料项目安排上,他要大干一场……

        于此同时,仙女山控股旗下的华赛电子有限公司,本来还发愁着先进光刻胶材料的研发迟迟没有成功……人家隔壁的海湾科技都部已经开始倒腾EUV光刻机原型机了。

        如今EUV光刻机的各种子系统都已经折腾的七七八八了,从光源再到镜片,然后到工作台等各核心系统都弄的差不多了。

        不出意外今年年底,他们甚至都能够拿出来第一台实验性原型机……虽然这个原型机不具备实际使用价值,后续还需要继续折腾琢磨好几年,才能够达到量产水平。但是人家好歹是搞的差不多了。

        但是EUV光刻机所使用的光刻胶材料,自己这边却是迟迟没有进展,所以华赛电子这边其实也比较着急。

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