世界上第二款套刻精度达到2.5纳米,支持四重曝光的DUV浸润式光刻机。
也只有这种光刻机,嗯,再加上隔壁ALMS的NXT1980,才能够通过四重曝光的工艺,生产出来等效七纳米工艺的芯片。
这款HDUV-600光刻机,看上去其实其貌不扬,就是个大箱子一样的东西,被安装在恒温恒湿无尘,甚至就连灯光都是专门的暖黄色灯光的专属车间里。
这种能够在硅晶圆上曝光出来十多纳米尺度的超精密设备,对环境的要求也是极高的,不是随便什么地方的厂商都能安装使用的。
稍微哪里出了点差错,就会导致产品良率大幅度降低,甚至可能都无法生产出来合格品。
如此情况下,其实徐申学都没有靠近去看这台已经安装好的设备,只是隔着玻璃在外头看一眼而已。
而这样的专属车间,还有很多个……
为了满足第二十五厂的光刻机需求,ASML也好,海湾科技也罢,最近两年都是加班加点赶工呢。
智云从ASML那边的订购的NXT1980光刻机,还一度被台积电以及英特尔等厂商给抢劫了产能……也不是不卖给你,而是前期生产的光刻机交付给了其他厂商,而交付给智云微电子的则是拖了又拖,最后卡着合同最后的时间和节点才交付。
智云微电子在这一方面,算是被老美那边摆了一道……而这也直接导致了,智云微电子直接撤销了后续的NXT1980订单,转而把订单交给了海湾科技!
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