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第四百八十六章 智云两地上市和EUV光刻机量产 (16 / 17)

作者:雨天下雨 最后更新:2025/9/11 5:00:58
        “目前的我们这款HEUV-300B光刻机,分辨率是十三纳米,数值孔径是三点三,套刻精度是二纳米,每小时可加工一百二十片的硅晶圆。”

        “根据我们的情报来源,大概和ASML的正在研发的EUV光刻机性能相当!”

        “实际上,我们还在对机台方面进行重大的技术升级,有望把加工速度提升到每小时两百片,不过目前该技术突破还处于实验阶段,为了稳妥起见我们并没有用在这一代的量产型号上,而是准备用在后续推出第二代量产型号上!”

        这个时候,智云微电子的CEO丁成军也出来道:“我们是打算用这款HEUV-300B光刻机,前期用以等效七纳米工艺的生产,而用了这款光科技拟后,我们的等效七纳米工艺的制造成本将会大幅度下降!”

        “之前我们使用DUV浸润式光刻机强行生产等效七纳米工艺的芯片,在制造成本上还是非常高的,目前来说只有一些顶级芯片才能承担这个成本!”

        “高昂的成本,这也是我们之前规划DUV浸润式光刻机生产等效七纳米工艺的产能,只规划了七万片的缘故。”

        “而我们目前规划的七纳米工艺总产能,前期是要达到十五万片的,而这些后续新增的产能,将会使用EUV光刻机来生产,此外后续也将会进一步扩大EUV光刻机的七纳米工艺产能,最终达到十五万片的规模!”

        “而第二十五厂的七纳米工艺产能,将会用于转产等效十纳米工艺,十二纳米工艺的芯片,毕竟使用DUV浸润式光刻机,采用四重曝光工艺生产七纳米工艺芯片,成本太贵了。”

        “没有EUV光刻机的时候,我们只能咬着牙使用,现在既然有了EUV光刻机,我们后续自然也就没有必要强行使用DUV浸润式光刻机生产七纳米工艺的芯片了,这将会带来极大的成本降低!”

        “同时也会增加我们的十纳米工艺以及十二纳米工艺的成熟产能,满足各类成熟芯片的市场需求!”

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