还有ARF光源系统也差不多,之前的物镜,光源等很多领域,其实国内已经具备了一定的基础,南方光学在这基础上进行整合,然后优化设计。
而放大到整个前道光刻机项目里也是类似的情况,
海湾科技的前道光刻机的研发里,其实主要工作不是发明创造,而是优化整合。
用他们自己的话来说就是:争取让这一堆性能都不咋地的破烂玩意,通过精妙的设计,做到稳定,长期,高效的生产出来先进制程的芯片!
这是他们内部的一些工程师的自嘲态度:我们啊,就是一群玩破烂的!
对比荷兰,日本的光刻机同行们,海湾科技的工程师们,还真就是玩破烂的……他们所能够得到的零配件性能,差距其实不小。
因此海湾科技的工程师们,其实要面临比荷兰ASML,日本尼康的工程师们更复杂,更艰难的问题!
他们要用一大堆性能不咋地的零配件,然后装配出来一台性能不能差国外同类产品太多的DUV干式光刻机,乃至后续的DUV浸润式光刻机。
这是一项非常具有挑战性的任务。
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