王道林说着的时候，一旁的南江科技的研发部门负责人曹星辰也是接上了话头：“不错！”
“我们公司是搞物镜，为了这个DUV光刻机的物镜，我们是从材料到加工工艺，全都是重新搞的！”
“我们南江科技主导，还拉着一大票研究所，合作企业，同时展开了数十个新材料研究项目，挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”
“最终花了两年多时间，这才弄出来了堪用的材料！”
“但是弄出来材料还不行，然后还得加工啊！”
“这加工更难！”
曹星辰说的时候，也是回想起来了之前的研发困境，不由得感叹：“光刻机所需要的镜片精度是非常高的，通常需要达到波长的五十分之一，比如我们这DUV干式光刻机的光源波长是193纳米，五十分之一就是三点八六纳米！”
“这种精度的加工，几乎超过普通人的想象！”
“而我们南光之前在生产I-line光刻机镜片以及KRF光源镜片的时候，采用的是国内现有的一些技术，比如小磨头抛光、磁流变抛光等技术。”
“原有的这些技术用来加工DUV光刻机所需要的镜片还不够！”
“而且想要在原来的技术路线想要获得更大的突破，达到蔡司，尼康等厂家的水准难度非常大。”
内容未完，下一页继续阅读