没有多久，一旁的王道林就带着一丝激动站起来道：“光刻已经顺利完成了，后面就是要进行接下来的几道去胶等工序，然后我们就可以看到试验结果了！”
徐申学一副镇定表情微微点头！
看王道林这些人啊，就是眼界小了，格局差了，不过是第一遍光刻工序完成而已，这都是既定程序，没啥好惊奇的。
不久后，随着多道后续工序完成后，王道林道：“现在基本工序已经完成了，接下来就可以用电子扫描镜进行观察了。”
只是光刻试验而已，自然不需要正常芯片生产流程里的诸多后续工序，只需要光刻后进行去胶清洗等环节，做到能够观察其内部结构就行了。
很快，这一片晶圆片就被切割，然后其中的一片芯片被送到了专用的电子扫描镜下进行放大观察。
王道林一边解释道：“我们测试用的芯片，是一种集团里的低制程功能芯片，采用的是六十五纳米工艺，正好用来测试我们的DUV干式光刻机！”
这一次测试，只是测试光刻机的可用性，可不考虑什么良品率之类的问题，因此只需要通过最基本的测试就过关。
很快，电子扫描镜那边也陆续给出了图像，一群研究人员对着显示器里的密密麻的芯片内部，纳米级别的晶体管电路进行检查分析。
而分析的过程里，可以看见那几个工程师脸上的笑容越来越盛。
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