徐申学点头，对林雅娴他还是放心的。
对于智云科技这种超大型的企业，高级人员管理也是非常复杂的事，有时候走夫人路线也是能发挥一定作用的……当然，用处也不大就是了。
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后续几天徐申学又连续跑了一趟海湾科技，看了DUV干式光刻机的其他几种测试项目，测试结果都还算不错，虽然还是一样一大堆毛病，但是总的来说还算堪用。
“这也算是做的差不多了，回头我让智云微电子的人过来，到时候下弄几台过去一起进行测试调整，争取尽快把剩下的问题解决了早日量产，并投入到生产！”
“这六十五纳米以及九十纳米的工艺节点，也是目前我们芯片制造部门里的重要技术节点，这DUV干式光刻机用处还是非常大的！”
王道林道：“有晶圆厂一起配合进行各种测试和改善工作，这可比我们自己闷着头瞎捉摸强多了！”
趁着这功夫，徐申学又看看离子注入机，蚀刻机等核心设备的研发情况，这些项目又快的又慢的，快的估计今年也能够拿出来新一代的样机满足六十五纳米产业线上的需求，而慢的可能要明年甚至后年去了。
很多设备没啥名气，咋一看似乎不如光刻机困难，但实际上有一个算一个，全都是技术难度非常高的高精尖设备，研发难度也是非常大的。
光刻机这东西只是单纯名气大而已！
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