里头用的各种设备都是清一色的天价!
如HEUV-300C光刻机,这种最新型的EUV光刻机,海湾科技那边的对外供货价达到一点五亿美元一套……贵的很!
而智云微电子规划一座月产五万片的5纳米工艺的晶圆厂,就要使用大概十台这种光刻机……光是这一种光刻机的采购成本,就得十五亿美元!
然后还要搭配若干最新式的DUV浸润式光刻机,也就是海湾科技的HDUV-600E型光刻机,而这种光刻机也不便宜,每台要七千多万美元呢。
这种光刻机在智云微电子里,虽然只是个打下手的光刻机类型,用来辅助EUV光刻机生产先进工艺的芯片!
但是在其他半导体厂商里,这种先进DUV浸润式光刻机可是核心主力光刻机,用来生产10-14纳米工艺节点的先进芯片好用的很。
只是因为价格过于昂贵,所以买得起的厂商其实也不多,现在也就只有智云微电子采购一些,但是量不大。
反倒是稍微落后一些的HDUV-600B比较成熟,价格也相对便宜,现在只需要五千万美元左右一套,所以这款光刻机深受国内半导体厂商的欢迎,卖的很不错。
一年依旧能够有五十多台的销量,乃是海湾科技诸多光刻机型号里的销冠!
然后还要搭配DUV干式光刻机或KRF光刻机,这两种光刻机看似落后了,但其实依旧是顶级工业设备,很贵的……
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