“了解项目现状吗？”
徐国士沉吟着看向杜庆安。
杜庆安微微点了一下头。
“行吧......光刻机由十几个大系统组成，所有零部件加起来有好几万个。眼下我简简单说你今天在这里就能看到的光刻机最为核心的光源部分，也是我一直都在直接领导研发的部分......”
徐国士就清了清嗓子，对陈国泰缓声说道。
陈国泰连忙竖起耳朵，聚精会神地听了起来。
“......顾名思义，光刻机绝对离不开‘光’。它的加工本质是用流明度和分辨度都足够高的强光对足够纯净的硅晶圆进行‘微雕’......那么什么样的光才能足够强呢？毫无疑问，是激光。所以我们从研发一开始，就着手研制出了氦—氖气体激光器作为光刻机的光源干涉仪......”徐国士娓娓讲述道。
“什，什么？徐老师，你说咱们的光刻机光源一开始就是使用气体激光方案？”
陈国泰突然瞪大眼睛，不敢置信地惊呼道。
“对呀？这有什么问题吗？”
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