徐国士愣了一下,疑惑地说道。
有什么问题?这问题可大了!
陈国泰当即用看神仙一般的敬仰眼神震惊地看着徐国士,心里疯狂地呐喊。
就陈国泰前世记忆中的内容来看,国外的光刻机在本世纪九十年代之前,光源部分基本都是使用高压汞灯。
直到进入九十年代,国外光刻机的主流光源才开始使用氟—氩气体激光。
也就是俗称的DUV光刻机。
而就在那个时候,国内光刻机的光源部分已经换成了氟代硼铍酸钾非线性激光晶体,把西方世界远远地甩在了后面。
那个晶体有一个大名鼎鼎的名字——KB.BF晶体!
它在广泛应用中被叫做准分子固态激光......
“徐老师,我们凤凰集团从成立开始就有发展光刻机全产业链的构想。为此我们收集了很多西方世界光刻机的情报......据情报记载,西方光刻机目前使用的光源并不是气体激光,而是高压汞灯!”
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