“所谓接近式光刻机,是让掩模版与硅片保持到十到二十微米的间距进行曝光。”
“但问题正是由于有这个间隙,很容易导致曝光时产生衍射,造成曝光出来的电路板纹路边缘模糊。”
“投影式光刻机是六十年代被人提出的一种概念,通过缩小头像,精准的解决了衍射问题!”
“同时因为曝光区域的增加,可以使得硅片大小从二英寸向三到四英寸发展。”
许教授推了推自己的眼镜,声音有些微微发抖。
“但最重要的是我们通过投影式光刻机能获得亚微米级别的曝光效果!”
“从今天开始,我们国家生产的芯片将站在整个世界的最前端!”
“因为我们制造出的同规格芯片,精度更高,体积更小,性能高,功耗低,可靠性也更高!”
室内掌声如雷鸣般轰动。
张宝根也在跟着拼命的鼓掌。
内容未完,下一页继续阅读