海湾科技的负责人王道林也知道徐申学不懂这玩意,所以解说的时候就说的有些简单直白:“我们的这这种光刻机,在国际技术路线上,应该算是第三代,不同于我们之前的上一代I-line光刻机采用的是接触接近式曝光,我们这个KRF光刻机的曝光方式是扫描投影式曝光,也被称之为扫描式光刻机。”
“而扫描曝光,也是更先进的DUV干式乃至DUV浸润式光刻机采用的曝光方式,技术原理是一样的!”
“通过研发这款KRF光刻机,某种意义上我们已经算是掌控了DUV光刻机的部分技术!”
“光源上,我们采用的是深紫外线光源,分辨率达到了248纳米,可以用于最小制程130纳米的芯片生产!”
“研发这款光刻机,进一步锻炼了我们团队的技术研发能力,同时也为DUV干式光刻机的研发打下了坚厚的基础!”
“后续我们的主要工作就是进一步优秀改进现有的光刻机平台,同时整合研发光源系统,争取早日把DUV干式光刻机做出来!”
“在光源上我们的兄弟公司南方光学的进展还是比较顺利的,他们已经对ARF光源进行前期的测试了,明年大概率就能够搞出来初步的ARF光源系统,而我们这边继续研发的话,整机系统有望明年年底拿出来!”
徐申学听罢后:“很好,继续努力做吧,希望明年年底能看到这个DUV光刻机!”
“还是我之前说过,你们只管努力做,资金问题不用担心,供应链这边有什么欠缺报告上来,我会安排人处理!”
“只要东西做出来了,也不用担心没市场,集团那边会提供充足的订单!”
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