“就和之前的I-line光刻机以及现在的KRF光刻机一样,你们只要搞出来更先进的DUV干式光刻机,订单是不用担心的!”
这个时候,陪着徐申学一起过来的智云微电子的总经理丁成军也开口道:“之前我们已经累计下单了三十三台的I-line光刻机,你们这个KRF光刻机如果通过我们的技术验收,价格方面也适合的话,今年内我们就可以给你最少二十台的订单!”
“这个KRF光刻机我们智云微电子的需求量还是很大的,不仅仅先进生产线里要用,在一些八寸线上生产一百多纳米的产品也需要大量用到!”
“如果你们能够搞出来DUV干式光刻机,那么订单就更多了,六十五纳米以及九十纳米制程,还是我们公司的主力制程,对DUV干式光刻机的需求量极大!”
“然后DUC浸润式光刻机的话,你们也要加快进度啊,这个光刻机太贵了,好几千万美金一台,你们早一点搞出来我们也能省点采购成本!”
听到丁成军这话,海湾科技的王道林却是面露难色!
光刻机问题,他们在I-line光刻机、KRF光刻机上都没遇到什么问,因为国内已经有了成熟可用的供应链。
但是DUV干式光刻机的话,那么问题可就比较大了,这玩意的ARF光源可不好搞……但是就算不好搞,他多少还有点信心在最近两年内搞出来。
至于DUV浸润式光刻机,说实话,王道林自己也不知道什么能搞出来。
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