正在研发当中,预计明年投产的等效七纳米工艺,半金属间距是二十七。
隔壁的台积电以及四星,在各工艺节点上也差不多这个水准,有一些偏差,但是不会大。
而到了二十七纳米这个半金属间距,也就是等效七纳米工艺这个工艺节点后,DUV浸润式光刻机受限于分辨率的限制已经到了物理理论极限了,很难再往下继续搞了,比如等效五纳米工艺就很难搞……当然,也不是说不行,如果套刻精度能够做到两纳米的程度,也能勉强高,但是成本会上天……
智云半导体以及对面的台积电,其实都在尝试用DUV浸润式光刻机搞等效五纳米工艺的芯片……嗯,就是尝试把芯片的半金属间距做到大概二十五纳米的水准。
别看只是两纳米的半金属工艺的提升,但是依旧是一道难以夸张的天堑,难得很。
所以别看都在搞,但实际上都对这一技术路线望而止步……用DUV浸润式光刻机搞等效五纳米的芯片,这个太扯淡了,从商业角度来看完全不值得。
所以这两家芯片先进工艺的竞争对手,在使用DUV浸润式光刻机制造等效五纳米工艺这一技术路线上,都是雷声大,雨点小……都在指望EUV光刻机呢。
至于四星和英特尔,他们就更惨了,他们连十纳米工艺,嗯,也就是大概三十三半金属工艺节点都还没有搞出来呢。
等效七纳米,遥遥无期……
其中的英特尔是受限于各种情况,技术推进非常不顺利,只能在十四纳米工艺上修修改改。
而四星那边,则是之前被智云半导体挖走了梁松教授,没有顶级人才的协助下他们搞起来先进工艺也很难,现在还在十四纳米工艺里打转。
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